輸(shū)出(chū)量與輸入(rù)量成一(yī)定函數(shù)關係(xì)並(bìng)能快(kuài)速(sù)響應的(dí)液(yè)壓(yā)控製閥(fá)，是液(yè)壓伺(sì)服(fú)係(xì)統(tǒng)的重(zhòng)要(yào)元件。液壓(yā)伺服(fú)閥(fá)按(àn)結(jié)構(gòu)分(fēn)為(wéi)滑(huá)閥(fá)式(shì)，噴嘴擋板(bǎn)式，射流管式，射流(liú)板式和(hé)平(píng)板式等(děng)
；按輸(shū)入信(xìn)號可分為機液伺服(fú)閥(fá)，電液伺(sì)服(fú)閥和(hé)氣液(yè)伺服閥(fá)。
德(dé)國(guó)EMG伺服閥(fá)機液伺(sì)服(fú)閥是將(jiāng)小功(gōng)率(shuài)的機械動(dòng)作轉變為液(yè)壓(yā)輸出量(liáng)（流量(liáng)或(huò)壓(yā)力）的(dí)機(jī)液轉換元件。機液(yè)伺(sì)服閥大都是(shì)滑(huá)閥式結(jié)構(gòu)，在船舶的(dí)舵機(jī)，機(jī)床(chuáng)的(dí)仿形裝置(zhì)，飛機的助(zhù)力器(qì)上應用zui早(zǎo)。
電(diàn)液伺服(fú)閥是將電量(liáng)轉變(biàn)成液壓(yā)輸出(chū)量(liáng)的(dí)電液(yè)轉(zhuǎn)換(huàn)元(yuán)件(jiàn)，出現(xiàn)於1940年。到(dào)50年代，這種元件的(dí)結(jié)構(gòu)趨(qū)於(yú)成(chéng)熟。隨著電子技術和(hé)計算(suàn)機(jī)技(jì)術(shù)的(dí)發展，電液伺服係統的性能得(dé)到顯(xiǎn)著(zhù)改善(shàn)，大大(dà)優於(yú)其他的液壓伺服係統(tǒng)，因(yīn)而得到(dào)廣泛(fàn)應(yīng)用。電液伺(sì)服(fú)閥的內部(bù)結構(gòu)可分滑閥(fá)位(wèi)置(zhì)反(fǎn)饋(kuì)，載荷(hé)壓力(lì)反饋和載(zǎi)荷(hé)流量反(fǎn)饋
；閥的級數(shù)可分(fēn)單級(jí)，雙級和多級(jí)。在中(zhōng)，將電信號轉變為(wéi)旋轉或(huò)直綫運動的(dí)部件稱為力(lì)矩馬達或(huò)力馬達(dá)。力(lì)矩馬達浸泡(pào)在油液中(zhōng)的稱為(wéi)濕式，不(bù)浸(jìn)泡在油液中(zhōng)的稱為乾式(shì)。其中以滑閥(fá)位(wèi)置反(fǎn)饋，兩級乾(qián)式(shì)電(diàn)液伺服(fú)閥(fá)應用zui廣。電(diàn)液(yè)伺服(fú)閥的工作原(yuán)理是(shì)力(lì)矩馬(mǎ)達(dá)在綫(xiàn)圈中(zhōng)通(tōng)入電流(liú)後產生(shēng)扭矩(jǔ)，使彈(dàn)簧管上的(dí)擋(dǎng)板在兩(liǎng)噴嘴間移動，移動(dòng)的距離(lí)和(hé)方向(xiàng)隨電(diàn)流的(dí)大(dà)小和方向(xiàng)而變(biàn)化。例如(rú)擋板向右移近噴嘴(zuǐ)時，就(jiù)在主閥芯兩端(duān)麵(miàn)上產生壓力(lì)差推(tuī)動主(zhǔ)閥(fá)芯(xīn)左移(yí)，使壓力油口(kǒu)P S與載荷(hé)1口相通，回油口與載(zǎi)荷 2口相(xiāng)通。主(zhǔ)閥芯左移的(dí)同(tóng)時通(tōng)過反(fǎn)饋杆(gān)對力矩(jǔ)馬達產生(shēng)的力(lì)矩和(hé)擋板的位移進行(háng)負反饋。因此，主閥芯的位移量就能(néng)地(dì)隨(suí)著(zhù)電(diàn)流(liú)的(dí)大小和方向(xiàng)而變化，從(cóng)而控(kòng)製通(tōng)向(xiàng)液壓(yā)執行(háng)元件(jiàn)的流量(liáng)和壓(yā)力。
氣(qì)液伺服(fú)閥(fá)是(shì)將氣(qì)動量轉變為液壓輸(shū)出量(liáng)的氣(qì)液(yè)轉換(huàn)元件。
性能指標(biāo)：流(liú)量（L／min），zui高壓(yā)力（MPa）。