1)溫度穩定性(xìng)好(hǎo)
電容(róng)式(shì)傳(chuán)感器(qì)的電容值一般與電極(jí)材料無關(guān)
，這有(yǒu)利於選擇溫(wēn)度(dù)係數(shù)低的材(cái)料
，又因本身發(fā)熱(rè)極小
，影(yǐng)響(xiǎng)穩定性(xìng)甚(shèn)微(wēi)。而電阻傳感器有銅損(sǔn)
，易發(fā)熱產生零漂(piāo)。
2)結(jié)構簡單(dān)
電(diàn)容式(shì)傳(chuán)感器結構簡單(dān)
，易於(yú)製造(zào)和保(bǎo)證(zhèng)高(gāo)的(dí)精度
，可以做得(dé)非(fēi)常(cháng)小巧
，以實現某些(xiē)特殊(shū)的測量；能工(gōng)作在高(gāo)溫(wēn)
，強輻射及(jí)強(qiáng)磁場等(děng)惡劣(liè)的環境中
，可以承受(shòu)很大(dà)的溫(wēn)度(dù)變(biàn)化
，承受(shòu)高壓(yā)力(lì)
，高(gāo)衝(chōng)擊(jī)
，過(guò)載(zǎi)等；能測量(liáng)超高溫(wēn)和(hé)低壓差
，也能對帶磁工(gōng)作(zuò)進行測量(liáng)。
3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好(hǎo)
電容(róng)式(shì)傳(chuán)感器(qì)由(yóu)於帶電極(jí)板間的靜(jìng)電引力很(hěn)小(xiǎo)(約幾(jī)個(gè)10^(-5)N)
，需(xū)要(yào)的(dí)作用能量(liáng)極小
，又由於它(tā)的可動部分(fēn)可以(yǐ)做(zuò)得很小很薄
，即質量很輕
，因(yīn)此(cǐ)其固有頻率(shuài)很高(gāo)
，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時間短(duǎn)
，能在幾(jī)兆(zhào)赫(hè)茲的(dí)頻率(shuài)下工作
，特(tè)別適(shì)用(yòng)於(yú)動態測量。又由(yóu)於其(qí)介質(zhì)損耗小(xiǎo)可以用(yòng)較(jiào)高頻(pín)率供電
，因此係(xì)統工(gōng)作頻率(shuài)高。它可用於(yú)測量高速變化的參數。
4)可以(yǐ)非接觸測(cè)量且靈敏(mǐn)度高(gāo)
可(kě)非接(jiē)觸(chù)測量回(huí)轉(zhuǎn)軸的(dí)振動或偏心(xīn)率，小型滾珠(zhū)軸承的徑向(xiàng)間隙等。當(dāng)采用非接(jiē)觸測量(liáng)時
，電容式傳(chuán)感器(qì)具(jù)有平均(jūn)效應
，可以(yǐ)減小工件表(biǎo)麵粗糙(cāo)度(dù)等對測量(liáng)的影響。
電(diàn)容式(shì)傳感器(qì)除了(liǎo)上述的優(yōu)點(diǎn)外(wài)
，還因其帶電極板間的靜電(diàn)引力(lì)很小
，所需輸入(rù)力和(hé)輸入能量極小(xiǎo)
，因(yīn)而(ér)可(kě)測極(jí)低的(dí)壓力(lì)，力和(hé)很(hěn)小的加速度(dù)，位(wèi)移等(děng)
，可以(yǐ)做(zuò)得很靈敏
，分辨(biàn)力高(gāo)
，能感應(yīng)0.01μm甚至更(gēng)小(xiǎo)的位移(yí)。由於其(qí)空氣等介質(zhì)損耗(hào)小
，采(cǎi)用差(chà)動(dòng)結構並(bìng)接(jiē)成電(diàn)橋(qiáo)式(shì)時產生(shēng)的(dí)零殘(cán)極(jí)小(xiǎo)
，因(yīn)此允許(xǔ)電路(lù)進行高(gāo)倍率放大
，使(shǐ)儀器具(jù)有很高(gāo)的靈敏度。