羅茨真空泵係(xì)統(tǒng)的選型(xíng)標(biāo)準

更(gēng)新時間：2023-06-26 點擊量：2739

羅茨真空泵(bèng)係統的選(xuǎn)型(xíng)

羅茨真(zhēn)空泵係(xì)統是(shì)采(cǎi)用(yòng)優(yōu)質的(dí)羅(luó)茨真空泵(bèng)配(pèi)單級旋片(piàn)真空(kōng)泵和油封液環(huán)真空係統將(jiāng)真空(kōng)係統(tǒng)的(dí)真(zhēn)空(kōng)度(dù)提高(gāo)，抽(chōu)速提高。是廣(guǎng)泛(fàn)用(yòng)於(yú)要求大抽(chōu)速的中真(zhēn)空(kōng)範圍(wéi)使(shǐ)用。

典(diǎn)型應(yīng)用：

真空(kōng)冶(yě)煉(liàn)；

真空包裝；

檢(jiǎn)漏(lòu)係(xì)統；

空調製(zhì)冷等(děng)行(háng)業(yè)真空脫氣，幹燥用；

鍍膜(mó)係統上(shàng)分子(zǐ)泵或(huò)擴(kuò)散(sàn)泵(bèng)的(dí)前級泵等(děng)等(děng)……..

羅茨真空泵(bèng)（增(zēng)壓(yā)型）必(bì)須和(hé)前級真空(kōng)泵(bèng)（單級旋片(piàn)真(zhēn)空泵，油(yóu)封液(yè)環(huán)真空(kōng)係(xì)統(tǒng)，等幹(gān)式(shì)粗(cū)低(dī)真空泵(bèng)串聯使用如：雙級或多級(jí)爪型(xíng)泵(bèng)，或(huò)直排(pái)大(dà)氣(qì)的(dí)預冷(lěng)型(xíng)羅(luó)茨泵等(děng)）

羅(luó)茨真(zhēn)空(kōng)係統將(jiāng)獲(huò)得(dé)比前級(jí)泵更髙的抽(chōu)速(sù)和更低(dī)的極(jí)限壓(yā)力。

正確的(dí)前(qián)級泵的選擇取決(jué)於(yú)不(bù)同的應(yīng)用(yòng)，主要(yào)的(dí)因素有以(yǐ)下幾個(gè)：

1. 所需(xū)的(dí)抽速和和極(jí)限(xiàn)壓力

2. 被抽氣體(tǐ)的性質(zhì)（是否(fǒu)可凝性(xìng)，易(yì)燃易(yì)爆(bào)，腐(fǔ)蝕性(xìng)等）

3. 真(zhēn)空係(xì)統(tǒng)的(dí)清潔度(dù)

羅茨(cí)真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)和前(qián)級(jí)真(zhēn)空泵(bèng)抽氣速(sù)率(shuài)的(dí)配比(bǐ)（SROOTS/SBACK）很大(dà)程(chéng)度(dù)上(shàng)由以下二(èr)點(diǎn)決定：

1）真空係統(tǒng)的效(xiào)率

2）羅茨(cí)泵進(jìn)排(pái)氣(qì)口(kǒu)的壓力差(chà)限製(zhì)

羅(luó)茨泵有(yǒu)二個對(duì)稱的轉(zhuǎn)子，在泵腔內相向同步轉動。

轉速(sù)髙(gāo)，容(róng)積效(xiào)率(shuài)髙(gāo)，所以相(xiāng)同(tóng)流(liú)量(liáng)的(dí)真(zhēn)空(kōng)泵羅茨真空(kōng)泵(bèng)體(tǐ)積(jī)小，重(zhòng)量輕，流(liú)量一(yī)般(bān)在(zài)250－13000m3/h。

轉子和泵(bèng)腔之間及(jí)轉子和(hé)轉子(zǐ)之(zhī)間(jiān)的間隙(xì)是比較小(xiǎo)的(dí)，（通(tōng)常(cháng)在(zài)0,15- 1mm）然後相對來說(shuō)可(kě)以獲(huò)得較(jiào)低的(dí)壓力（中真(zhēn)空範圍）。

重要(yào)的(dí)是，在(zài)氣體抽送的(dí)腔體(tǐ)中(zhōng)沒(méi)有潤滑(huá)油(yóu)，所(suǒ)以廣泛應用在化工真空(kōng)幹燥蒸餾，半導體電(diàn)子(zǐ)行(háng)業等工(gōng)藝特(tè)殊氣(qì)體的抽送中。

羅茨泵的(dí)理論抽速等(děng)於：

STH＝4×n×V

n ：轉(zhuǎn)子的(dí)轉速

V ：和(hé)進氣口隔(gé)絕(jué)時的腔(qiāng)體(tǐ)體(tǐ)積(jī)

羅(luó)茨泵的理論(lùn)氣體(tǐ)流量等(děng)於(yú)：

Q PV,th=Sth Pin

由(yóu)於(yú)羅(luó)茨(cí)泵(bèng)的(dí)間隙，將產(chǎn)生(shēng)內(nèi)泄(xiè)漏，所以將減少被抽的(dí)氣體(tǐ)量

qpv,eff=qpv,th－qpv,int,leak

qpv,int,leak=Cgap(Pout-Pin)+Sb×Pout

Cgap：內部間(jiān)隙(xì)的流導(dǎo)

羅茨泵(bèng)的一個重要的技(jì)術(shù)參數(shù)是：K0（零流(liú)量壓縮比）

它是指羅(luó)茨泵(bèng)在進氣(qì)口封閉狀(zhuàng)態下（零流(liú)量狀態下(xià)）泵(bèng)的(dí)排(pái)氣壓力(lì)和和泵(bèng)的(dí)進氣(qì)壓力的比值(zhí)。

K0＝（pout/pin）0K0取決於轉(zhuǎn)子的(dí)形狀(zhuàng)及(jí)內部(bù)的間隙(xì)。還取決於被抽氣(qì)體(tǐ)種類(lèi)。

封(fēng)閉羅(luó)茨泵的進(jìn)氣口，允(yǔn)許(xǔ)羅茨(cí)泵及(jí)前級泵(bèng)的進口(kǒu)放入一(yī)定量可(kě)調的(dí)氣體，將得出(chū)不(bù)同排氣(qì)壓力(lì)狀(zhuàng)態(tài)下所(suǒ)對應(yīng)的(dí)不(bù)同K0值。

羅茨泵(bèng)在(zài)不(bù)同(tóng)的(dí)排氣壓(yā)力(lì)下有(yǒu)不同的(dí)泄漏量(liáng)，具有不(bù)同的(dí)零(líng)流量(liáng)壓(yā)縮(suō)比。可(kě)以得(dé)出(chū)羅(luó)茨(cí)真(zhēn)空(kōng)泵的效(xiào)率(shuài)：K0/(K0+Sratio-1)S ratio：為(wéi)羅茨泵與前(qián)級泵(bèng)的抽(chōu)速(sù)配(pèi)比由(yóu)此可(kě)知當(dāng)S ratio=1時(shí)，羅(luó)茨泵效率等於(yú)1S ratio越大，效率越(yuè)低(dī)當(dāng)K0大於20，配(pèi)比(bǐ)小於10時，羅茨泵的效率(shuài)可超(chāo)過70％，一般(bān)來說，這(zhè)是可以(yǐ)接(jiē)受(shòu)的效率的低(dī)限。

羅茨(cí)真(zhēn)空係統(tǒng)的極限壓(yā)力一(yī)般可比前(qián)級泵(bèng)的壓(yā)力下(xià)降到除(chú)以(yǐ)壓縮比(bǐ)的數(shù)值(zhí)。

實際(jì)上得到(dào)的(dí)極限壓力還要乘上3－5這個數值。

如(rú)采用單(dān)級旋片(piàn)真空(kōng)泵(bèng)作為前級泵，真空係統的極限壓力理論(lùn)上低可達(dá)：50pa/35=1.4pa實際上(shàng)一(yī)般(bān)可達到的極限(xiàn)壓力(lì)是(shì)5pa采(cǎi)用水封(fēng)液環泵(bèng)作為(wéi)前級(jí)泵，真(zhēn)空係統(tǒng)的極(jí)限壓(yā)力(lì)理(lǐ)論上低可達(dá)：

3300pa/15=220pa實際上一(yī)般可(kě)達(dá)到(dào)的極(jí)限壓力是660pa為(wéi)了防(fáng)止羅茨泵的(dí)壓(yā)力差過(guò)大後(hòu)，造成羅(luó)茨(cí)泵過熱和過(guò)載，沒有(yǒu)安(ān)裝溢流(liú)閥(fá)等(děng)裝置的羅(luó)茨泵必須(xū)在(zài)前級泵達到一(yī)定壓力後再啟(qǐ)動，該壓力可以按下式(shì)計算：

P switch on =最大壓(yā)力差/（效率(shuài)× 抽速配(pèi)比－1）

羅茨(cí)泵排(pái)氣溫度的(dí)計(jì)算：Tout=T in (Pout/pin)1/6

總(zǒng)結(jié)：

1）一般(bān)來(lái)說羅(luó)茨真空(kōng)泵(bèng)在排(pái)氣壓(yā)力(lì)為10－2000 pa時(shí)具(jù)有大於20的零(líng)流量(liáng)壓(yā)縮比(bǐ)，所以從(cóng)提高(gāo)真空度的意義上來說(shuō)，羅茨(cí)真空(kōng)泵(bèng)選用極限壓(yā)力在(zài)10－2000pa的單(dān)級(jí)油封(fēng)旋(xuán)片真(zhēn)空(kōng)泵，和(hé)油(yóu)封(fēng)液環真空(kōng)係(xì)統(tǒng)是有(yǒu)效(xiào)的(dí)，可以將(jiāng)係(xì)統的真(zhēn)空(kōng)提高(gāo)一(yī)個(gè)數量級以上。

2）較高(gāo)真空度的前級(jí)泵如雙級(jí)選片(piàn)真(zhēn)空(kōng)泵可以(yǐ)選擇較大的配比(bǐ)，最高應在10左右(yòu)，較(jiào)低(dī)真(zhēn)空(kōng)度(dù)的(dí)前(qián)級(jí)泵(bèng)如水(shuǐ)封液環真空(kōng)泵(bèng)一般(bān)選擇較(jiào)低(dī)的配比(bǐ)，甚(shèn)至僅為了(liǎo)提(tí)高(gāo)真(zhēn)空(kōng)度(dù)和防止氣蝕等因(yīn)素(sù)可以(yǐ)選擇配(pèi)比(bǐ)為(wéi)1的羅茨(cí)真(zhēn)空泵。

3）三級以上(shàng)羅(luó)茨真(zhēn)空係(xì)統真空度可以達到0.01pa的(dí)極限(xiàn)壓(yā)力

4）為(wéi)了避免(miǎn)羅茨泵過載，或過熱(rè)，應(yīng)讓(ràng)前級泵先運轉，達到起(qǐ)動壓力後，羅茨泵(bèng)再(zài)運(yùn)行(háng)。或(huò)者羅茨泵必須要有(yǒu)溢流閥或(huò)磁力液力等(děng)防(fáng)止過載裝(zhuāng)置。對於(yú)有(yǒu)這(zhè)些(xiē)過(guò)載裝(zhuāng)置(zhì)的(dí)羅茨(cí)泵(bèng)為(wéi)了(liǎo)降低噪聲等(děng)也(yě)應該讓(ràng)羅(luó)茨泵(bèng)稍(shāo)微滯(zhì)後一段時(shí)間再(zài)運行(háng)。

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