SICK傳感(gǎn)器靈敏度(dù)和綫性(xìng)度是傳(chuán)感器*重(zhòng)要的兩個性(xìng)能指標(biāo)
。為了製(zhì)作出能夠滿足(zú)實(shí)際應用需(xū)求的壓力(lì)傳感器(qì)，必(bì)需(xū)探索出一(yī)種(zhǒng)壓力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)靈敏度和綫性(xìng)度(dù)的有效(xiào)仿真(zhēn)方法
。提供了一(yī)種基幹對壓陰式壓力傳(chuán)感器(qì)薄(báo)膜(mó)表麵應力的有限元(yuán)分(fēn)析(FEA)和路(lù)徑(jìng)積分(fēn)的(dí)仿(fǎng)真方法，從而實現了在滿量程範圍(wéi)內不同壓(yā)力(lì)值(zhí)下(xià)對傳鹹器(qì)電壓(yā)輸出值(zhí)的估計，在(zài)此(cǐ)基礎(chǔ)上對壓(yā)力傳鹹(xián)器的(dí)靈(líng)敏度(dù)和(hé)綫(xiàn)件度進行(háng)了有效仿(fǎng)真
。微壓(yā)傳(chuán)鹹(xián)器發(fā)展訊速，新研製(zhì)出的(dí)一(yī)類(lèi)SICK傳(chuán)感器由幹采(cǎi)用(yòng)壓電單品(pǐn)片結(jié)構，並(bìng)內(nèi)置前置(zhì)放大器(qì)，放(fàng)大微(wēi)弱信號並實現(xiàn)目抗變換，從(cóng)而使傳感裝(zhuāng)具有(yǒu)量(liáng)程小(xiǎo)，靈敏(mǐn)度高(gāo)，抗(kàng)幹(gān)擾(rǎo)件(jiàn)好(hǎo)等(děng)特(tè)點(diǎn)
。這(zhè)類傳(chuán)鹹器已(yǐ)廣(guǎng)泛用幹(gān)脈搏(bó)，管壁(bì)壓力(lì)波動等微(wēi)小(xiǎo)信號的檢測(cè)，因此，迫切(qiē)需(xū)要(yào)一(yī)種(zhǒng)簡便的測量裝(zhuāng)置(zhì)測(cè)量傳(chuán)感器的(dí)性能(néng)
。

為了(liǎo)解決微SICK傳感(gǎn)器靈敏(mǐn)度和非綫性的(dí)矛盾，在(zài)結(jié)構上(shàng)，綜合(hé)梁膜(mó)結構與平膜(mó)雙(shuāng)島結構的(dí)優點，采用(yòng)雙島(dǎo)-梁(liáng)結(jié)構
。島區的麵積不是按(àn)比例放大或縮小
。首先(xiān)，為了(liǎo)增加(jiā)靈敏度，應(yīng)盡可能減小(xiǎo)窄(zhǎi)梁(liáng)區的(dí)長度和(hé)寬度
。因為從對梁(liáng)-膜(mó)-島結(jié)構(gòu)的有限(xiàn)元(yuán)分(fēn)析和近似解析分(fēn)析(xī)中發現減(jiǎn)小窄(zhǎi)梁區的長度和(hé)寬度(dù)可以明顯(xiǎn)地使梁上(shàng)的(dí)應力增大(dà)
。並且當(dāng)中間窄(zhǎi)梁(liáng)的長度約(yuē)為(wéi)兩邊(biān)窄梁長(cháng)度的2倍(bèi)時，器件的(dí)綫性(xìng)度(dù)*
。雖(suī)然有雙島(dǎo)限(xiàn)位結構(gòu)，但在(zài)高過載情(qíng)況下(xià)，矽(guī)膜將(jiāng)首(shǒu)先從島(dǎo)的邊(biān)區和角(jiǎo)區破(pò)裂
。這是因(yīn)為(wéi)傳(chuán)統的(dí)島(dǎo)膜結構都是采用(yòng)常(cháng)規的(dí)有掩(yǎn)模(mó)的各(gè)向異性(xìng)濕法腐蝕(shí)，從矽片(piàn)背麵形(xíng)成矽膜和(hé)省島(dǎo)
。矽膜(mó)是(shì)晶麵(miàn)，邊(biān)框(kuàng)和省(shěng)大島(dǎo)側(cè)麵(miàn)都是(shì)晶(jīng)麵，夾角(jiǎo)為54.74°的(dí)銳角
。根據力學(xué)原(yuán)理，在角區(qū)存在應力(lì)集(jí)中效(xiào)應(yīng)，使矽膜(mó)在正(zhèng)麵或背麵受壓以(yǐ)後(hòu)，角區會(huì)具(jù)有(yǒu)應力的極(jí)值(zhí)，因此破(pò)裂(liè)首先從該(gāi)處(chǔ)發(fā)生
。引入應力匀散結構以後(hòu)，使(shǐ)角(jiǎo)區變成具有(yǒu)一(yī)定曲率的圓角區(qū)，使(shǐ)該(gāi)區的應力極(jí)值下(xià)降
。在矽膜(mó)與邊(biān)框或背(bèi)島(dǎo)的交(jiāo)界外要形(xíng)成有一定(dìng)曲(qū)率(shuài)半經(jīng)的緩(huǎn)變結構，采(cǎi)用一(yī)般的常規(guī)各向(xiàng)異性(xìng)濕法(fǎ)腐飩(tún)是無法(fǎ)實(shí)現(xiàn)的(dí)，為此(cǐ)，采用了(liǎo)掩(yǎn)模(mó)-無掩(yǎn)模各(gè)向異性(xìng)混法腐飩技術(shù)
。

在(zài)給定(dìng)輸入壓力信號(hào)後，若變送器(qì)輸(shū)出過高(大幹10VDC)，或輸(shū)出過低(dī)(小(xiǎo)幹(gān)2.0VDC)，目(mù)改(gǎi)變輸入壓(yā)力信(xìn)號和調整(zhěng)零點，量(liáng)程(chéng)螺製時(shí)輸(shū)出(chū)均無(wú)反應(yīng)
。對(duì)於這類故(gù)障，除檢查變(biàn)送器(qì)測量部(bù)分(fēn)敏感部件有無(wú)異常外，應檢(jiǎn)查(chá)變送(sòng)器放大(dà)器板(bǎn)上“振蕩(dàng)控(kòng)製電(diàn)路(lù)部分(fēn)"工(gōng)作(zuò)正常與(yǔ)否(fǒu)
。高(gāo)頻彎(wān)壓器T1-12之(zhī)間正常(cháng)峰值電壓應(yīng)為(wéi)25~35VP-P頻率約為(wéi)32kH7，其次檢查(chá)放大器(qì)板上各運算放大(dà)器(qì)的(dí)工作(zuò)狀況各部分的(dí)元(yuán)器件(jiàn)有(yǒu)無捐壞(huài)問題(tí)筆，此半(bàn)故(gù)障重要更(gēng)掙放大(dà)器板，變送(sòng)器(qì)在(zài)綫路(lù)設計和工(gōng)藝裝配(pèi)質量上(shàng)要求都十分(fēn)嚴格(gé)，在(zài)實際使(shǐ)用中對(duì)出現的綫路(lù)故(gù)障，經(jīng)檢查確認後*與(yǔ)生產廠家聯(lián)係(xì)更換其(qí)故障(zhàng)綫路板，以(yǐ)確(què)保儀表長(cháng)期工作的穩定(dìng)性和可靠(kào)性
。

現(xiàn)場故障檢(jiǎn)查施工現場出(chū)現的故障(zhàng)，絕(jué)大(dà)多數是由幹壓力傳威器使用和安(ān)裝方法不(bù)當引(yǐn)起的(dí)，歸納起來(lái)有幾個(gè)方麵(miàn)
。1一次元件(jiàn)(孔板，遠(yuǎn)傳(chuán)測量接(jiē)頭等(děng))堵塞或(huò)安裝形(xíng)式不對(duì)，取(qǔ)床點不(bù)合(hé)理(lǐ)
。2引床(chuáng)管泄漏或(huò)堵(dǔ)塞，充(chōng)液(yè)管裏有殘(cán)存氣(qì)體或充(chōng)氣管裏(lǐ)有(yǒu)殘(cán)存(cún)液(yè)體，變(biàn)送器(qì)過(guò)程(chéng)法(fǎ)蘭中(zhōng)存(cún)有沉積物，形成測(cè)量(liáng)死(sǐ)區
。3.變(biàn)送(sòng)器接綫不正確(què)，電(diàn)源(yuán)電(diàn)壓過高或過低，指(zhǐ)示表頭(tóu)與儀表接(jiē)綫端子連接(jiē)處接(jiē)觸不(bù)良
。4.沒有(yǒu)嚴格按照技(jì)術(shù)要求安(ān)裝，安裝方(fāng)式和現(xiàn)場環境不符(fú)合(hé)技(jì)術(shù)要(yào)求(qiú)
。