瑞(ruì)士(shì)VAT真空(kōng)閘板閥在中國的(dí)合作(zuò)供(gōng)貨商(shāng)

VAT是(shì)一家(jiā)在(zài)真(zhēn)空(kōng)閥門領(lǐng)域處於(yú)絕對(duì)位(wèi)置(zhì)的瑞士(shì)公司(sī)
，VAT自(zì)1964年(nián)成(chéng)立以來
，在(zài)真(zhēn)空(kōng)閥門(mén)技(jì)術(shù)領(lǐng)域實(shí)現了專業(yè)化(huà)的運作(zuò)。因其(qí)*的研發創(chuàng)新和(hé)業(yè)界聞名的高品(pǐn)質
，世界各(gè)半導體芯片設備，太陽能設備製造廠商，大學和科研機構(gòu)大量(liáng)采用了(liǎo)VAT公司(sī)的產(chǎn)品
，其(qí)生產的閥門(mén)在真空(kōng)產生和(hé)研究係(xì)統中都是業(yè)界的標(biāo)準(zhǔn)組件。

VAT閥門主(zhǔ)要運用(yòng)在(zài)：半導體加(jiā)工(gōng)
，玻(bō)璃(lí)或鍍膜(mó)設備
，高能物(wù)理（科(kē)研）
，同步加(jiā)速(sù)器（科(kē)研）
，激(jī)光技(jì)術
，空(kōng)間模(mó)擬(nǐ)
，冶(yě)金
，表(biǎo)麵分(fēn)析等行業。產(chǎn)品包括(kuò)：插板(bǎn)閥(fá)，蝶(dié)閥(fá)，傳送(sòng)閥，隔膜閥，角(jiǎo)閥等
，是高(gāo)靈(líng)敏(mǐn)度和高(gāo)可靠性(xìng)的控製真空(kōng)閥。

產品服務(wù)：

瑞(ruì)士(shì)VAT閥(fá)門，閘(zhá)閥，鐘(zhōng)擺閥(fá)，控製(zhì)閥，角(jiǎo)閥，隔(gé)膜(mó)閥(fá)，連接(jiē)部(bù)件，多(duō)閥(fá)門(mén)模塊，加(jiā)熱器，鍍膜

品(pǐn)牌(pái)介紹(shào)：

VAT真(zhēn)空(kōng)閥門公司是(shì)一家活(huó)躍於市(shì)場(cháng)的(dí)瑞士(shì)公(gōng)司
，是真空閥(fá)門(mén)開(kāi)發，製造和(hé)銷(xiāo)售的(dí)公司。產品(pǐn)廣泛用(yòng)於(yú)半導(dǎo)體，鍍膜行業和(hé)研發，平板顯示(shì)器製造(zào)
，玻璃和工(gōng)具(jù)鍍膜
，冶金
，表(biǎo)麵(miàn)分析
，高能(néng)物(wù)理學
，同步加(jiā)速(sù)器
，激光技(jì)術和太(tài)空(kōng)旅行模擬等(děng)領域。

主要型號(hào)：

010係列(liè)，012係(xì)列(liè)，081係(xì)列，091係列，108係列，110係列(liè)，121係(xì)列，140係列(liè)，150係列，152係列，162係列，168係列(liè)，640係列，641係(xì)列，650係列，652係(xì)列(liè)，022係列(liè)，032係列，043係(xì)列，075係列，076係(xì)列(liè)，066係(xì)列，211係列，214係列(liè)，216係列，245係列，264係列，471係(xì)列，773係列，790係列，790係(xì)列(liè)

瑞上VAT部分產品介(jiè)紹(shào)

1.VAT閘(zhá)閥(fá)

具有(yǒu)模(mó)塊化執行機(jī)構概(gài)念的(dí)VAT緊(jǐn)湊(còu)型迷(mí)你(nǐ)超(chāo)高壓閘閥非(fēi)常適合I業(yè)和研發(fā)應用。它通(tōng)常用於半導(dǎo)體工(gōng)藝係統的管道中。插(chā)入(rù)版本

以(yǐ)集成到(dào)真空係統中(zhōng)(無閥體)
，更高的密封材料(Chemraz, EPDM等(děng))
， 帶(dài)有(yǒu)VITON製(zhì)成(chéng)的密封件(jiàn)
，可更換
，特(tè)殊(shū)的閥門(mén)澆口
，適

合安裝各種孔(kǒng)板。

2.VAT蝶閥(fá)

VAT蝶閥是下(xià)遊(yóu)應(yīng)用的(dí)蝶(dié)形壓(yā)力(lì)控製閥。帶有(yǒu)非(fēi)常(cháng)快(kuài)速且(qiě)堅固的執行(háng)器
，高(gāo)性(xìng)能
，集(jí)成控(kòng)製器(qì)
，具(jù)備極短的控(kòng)製響(xiǎng)應(yīng)時間和位置指I

示
，自(zì)動(dòng)維護指(zhǐ)示(shì)
，出(chū)色的(dí)抗(kàng)汙(wū)染能力。該(gāi)閥(fá)"的控(kòng)製器(qì)可(kě)確(què)保(bǎo)非常(cháng)快速和(hé)準確(què)的(dí)壓力(lì)控製。通(tōng)過(guò)操作(zuò)L EARN功能(néng)
，在啟(qǐ)動時(shí)隻(zhī)

需要執(zhí)行(háng)一次
，即可(kě)自動確(què)定(dìng)係統(tǒng)參數。由於采(cǎi)用(yòng)了自(zì)適(shì)應(yīng)算(suàn)法
，因此控製器(qì)可以(yǐ)連續(xù)適(shì)應過(guò)程(chéng)條(tiáo)件(氣體(tǐ)種類
，氣體(tǐ)流(liú)量)
，從(cóng)而

確(què)保隨時進行(háng)最(zuì)佳壓力(lì)控製。

B.VAT轉換(huàn)閥

VAT轉換(huàn)閥用(yòng)於(yú)200.300和450毫米晶(jīng)圓的半導體生產係統中(zhōng)的負載鎖定和處(chǔ)理室隔(gé)離(lí)。雙作用(yòng)氣動執行器(qì)
，主體(tǐ)材(cái)質(zhì)為鋁
，不(bù)鏽

鋼
，波紋管受保(bǎo)護(hù)
，使用壽命(mìng)長
，大(dà)於(yú)500萬次循(xún)環的(dí)預期(qī)壽命
，公(gōng)稱內徑(jìng)32x222到56x496毫米(mǐ)。

4.VAT角閥

VAT角閥適用於大多數(shù)腐蝕性氣(qì)體
，除(chú)氣(qì)率(shuài)極(jí)低。當排氣(qì)速率(shuài)極(jí)低(dī)時(shí)
，對於(yú)特(tè)高壓(yā)係統的(dí)泵(bèng)送(sòng)和(hé)排氣很(hěn)重要(yào)。耐(nài)高(gāo)壓差
，固定式可(kě)

旋轉CF法(fǎ)蘭
，在最高(gāo)溫度80°C下可以進行(háng)300萬次循(xún)環
，主體(tǐ)材(cái)質(zhì)不鏽鋼
，執行器(qì)類(lèi)型分為(wéi)手動執(zhí)行(háng)器(手(shǒu)輪(lún))
，氣動執(zhí)行器(單(dān)閉

孔
，帶有閉合彈(dàn)簧NC)。

5.VAT軟(ruǎn)啟(qǐ)動閥(fá)

VAT軟啟動閥(fá)由兩半節流閥瓣(bàn)組(zǔ)成(chéng)
，它(tā)們支撐在(zài)一(yī)條公共(gòng)軸(zhóu) 上(shàng)
，並通過彈(dàn)簧(huáng)保持在(zài)打開位置(zhì)。軸(zhóu)保持在ISO KF對(duì)中環(huán)中
，該對中(zhōng)環

形成為帶有(yǒu)閥座的(dí)主體(tǐ)。將(jiāng)它們(mén)安裝(zhuāng)在(zài)兩個(gè)SO-KF法蘭(lán)(而不是(shì)定心環之間時
，必(bì)須將(jiāng)打(dǎ)開(kāi)的閥對(duì)準(zhǔn)真空管路中(zhōng)的氣(qì)流(liú)。當(dāng)粗(cū)加(jiā)

工係(xì)統投(tóu)入運(yùn)行(háng)時
，在粗(cū)加工管(guǎn)綫中會產(chǎn)生(shēng)強氣(qì)流
，該(gāi)氣(qì)流會(huì)立(lì)即關閉(bì)閥(fá)門
，並使管(guǎn)段(duàn)減少約99%。當達到(dào)約2%的壓(yā)差時
，在(zài)

15mbar時
，閥(fá)]打(dǎ)開並(bìng)幾乎(hū)毫5阻礙地離(lí)開(kāi)管道
，以進行(háng)進(jìn)步(bù)泵送(sòng)。

瑞(ruì)士(shì)VAT真空(kōng)閘(zhá)板(bǎn)閥(fá)在(zài)中國的合作供貨(huò)商