當(dāng)前位(wèi)置:首頁 > 產品(pǐn)展(zhǎn)示 > 瑞士VAT > VAT閥(fá) > 瑞(ruì)士VAT-09.1 - 帶(dài)保(bǎo)護圈(quān)的高真(zhēn)空閘閥

【概要描述】瑞(ruì)士VAT-09.1 - 帶(dài)保護(hù)圈的高(gāo)真空閘(zhá)閥09.1 帶(dài)保護圈(quān)的(dí)高真空(kōng)閘(zhá)閥(fá)已經安裝在(zài)各(gè)種工藝(yì)條件下的(dí)嚴(yán)苛應(yīng)用中,證(zhèng)明了其在次晶圓(yuán)廠(chǎng)應(yīng)用(yòng)領域(yù)的(dí)可(kě)靠性(xìng)。它可以輕易集(jí)成到(dào)任(rèn)何應用中(zhōng)。
| 品牌(pái) | ATOS/意(yì)大利(lì)阿托斯 | 應用領(lǐng)域 | 化工,能(néng)源,汽車及(jí)零部件,電氣(qì),綜(zōng)合 |
|---|
瑞(ruì)士(shì)VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈(quān)的高真空閘(zhá)閥
如(rú)果(guǒ)氣(qì)流(liú)中(zhōng)副產品的比例很高,形成的(dí)沉積(jī)物可能(néng)會導致閥門(mén)故(gù)障(zhàng)以及(jí)計劃外的維(wéi)護工(gōng)作(zuò)。09.1 帶保(bǎo)護(hù)圈(quān)的高(gāo)真空(kōng)閘(zhá)閥可避(bì)免(miǎn)這一(yī)問(wèn)題。得(dé)益於其具有自清潔(jié)功能的特殊(shū)楔形設計以(yǐ)及(jí)保護(hù)圈,即便(biàn)閥座上有(yǒu)大量沉(chén)積物(wù),該高真(zhēn)空閘(zhá)閥(fá)依然可(kě)以(yǐ)平(píng)穩地打(dǎ)開和關閉。由(yóu)於閥(fá)板的(dí)楔形設計(jì),沉積物(wù)會被(bèi)專門推離閥座或閘(zhá)封,以始(shǐ)終保證(zhèng)可(kě)靠的(dí)密封性。此(cǐ)外(wài),保(bǎo)護(hù)圈(quān)通過在(zài)閥(fá)門(mén)打(dǎ)開位置(zhì)覆(fù)蓋外殼(ké),防止在板中積聚任(rèn)何(hé)沉積物。09.1 高真(zhēn)空(kōng)閘(zhá)閥(fá)在(zài)壓差(chà)高(gāo)達 1 bar 的(dí)情況下(xià)可(kě)以正(zhèng)常運轉。
09.1 帶保護圈的高(gāo)真空閘(zhá)閥已經(jīng)安裝(zhuāng)在(zài)各(gè)種工(gōng)藝(yì)條(tiáo)件下(xià)的(dí)嚴苛應用(yòng)中(zhōng),證明了其在(zài)次晶圓廠(chǎng)應用領域的可(kě)靠性。它可以(yǐ)輕易集成到任何(hé)應(yīng)用(yòng)中。
09.1帶保(bǎo)護圈(quān)的高(gāo)真空(kōng)閘(zhá)閥(fá)為氣(qì)動類(lèi)型。控製閥的標準電壓為(wéi) 24 VDC。標準密(mì)封材(cái)料為氟(fú)橡(xiàng)膠(jiāo),但可根(gēn)據(jù)要求使(shǐ)用(yòng)其他材料(liào)。此(cǐ)外,還可以集(jí)成軟(ruǎn)抽(chōu)功能,並為測量儀器(qì)等增加(jiā)額外的接(jiē)入點(diǎn)。
也可查看(kàn)
09.1 采(cǎi)用楔形設(shè)計的(dí)高(gāo)真空(kōng)閘閥
09.2 HV 楔形設計(jì)的高真空(kōng)插(chā)板閥
特點(diǎn):
由(yóu)於(yú)楔形設計,此(cǐ)高(gāo)真空閘(zhá)閥(fá)具(jù)有自(zì)清(qīng)潔功(gōng)能
保護圈(quān)可(kě)防止積(jī)聚沉(chén)積物
閥門可在壓差高達(dá) 1 bar 時(shí)開啟
優(yōu)勢(shì):
在(zài)極惡劣條(tiáo)件(jiàn)下(xià)擁有出色(sè)的可靠性(xìng)
維護周(zhōu)期(qī)延長
低(dī)運行成本(běn)
技術參數:
尺寸 | DN 100mm (4") | ||
|---|---|---|---|
驅(qū)動器(qì) | 氣動 | 雙作用(yòng) | |
閥(fá)體(tǐ)材料(liào) | 不鏽鋼 | ||
饋通件 | 波(bō)紋管 | ||
標準法(fǎ)蘭 | ISO-F | ||
泄(xiè)漏(lòu)率(shuài) | 閥體(tǐ) | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座(zuò) | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
壓力(lì)範圍(wéi) | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強(qiáng)) | ||
閥板可承(chéng)受(shòu)壓(yā)差(chà) | ≤ 1.2 bar | ||
打(dǎ)開(kāi)時可承受(shòu)壓差 | ≤ 1 bar | ||
維護前(qián)開關次數 | 1000 次 | ||
溫度(dù) | 閥(fá)體(tǐ) | ≤ 150 °C | |
驅動(dòng)器(qì) | ≤ 100 °C | ||
電(diàn)磁閥 | ≤ 50 °C | ||
位(wèi)置(zhì)指示(shì)器(qì) | ≤ 70 °C | ||
材料(liào) | 閥(fá)體,閥(fá)板 | AISI 304 (1.4301) | |
波(bō)紋管 | AISI 633 (AM350) | ||
密(mì)封 | 閥蓋,閥(fá)板 | 氟橡(xiàng)膠(含(hán)氟(fú)彈性體(tǐ)) 可選:FFKM | |
安(ān)裝位(wèi)置(zhì) | 任何(hé)位置 | ||
電(diàn)磁(cí)閥 | 24 VDC,1 W | ||
位(wèi)置指示器:觸(chù)點(diǎn)額定(dìng)值 | 電壓(yā) | 24 VAC/DC | |
電流 | ≤0.5 A | ||
功率 | 最大(dà)為 10 W | ||
| 重量 | 20 kg / 44.1 lbs | ||
瑞士VAT-09.1 - 帶保護(hù)圈(quān)的(dí)高(gāo)真空閘閥
企(qǐ)業信息
ENTERPRISE INFORMATION產(chǎn)品分類
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