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【概(gài)要(yào)描述(shù)】瑞士(shì)VAT閥04.2 高真空(kōng)傳輸閥與L-VAT04.2 高真空傳(chuán)輸(shū)閥與(yǔ)L-VAT適(shì)用(yòng)於裝載鎖和工(gōng)藝室隔(gé)離(lí)
| 品(pǐn)牌 | 其(qí)他(tā)品(pǐn)牌(pái) | 流(liú)動(dòng)方(fāng)向 | 單(dān)向 |
|---|---|---|---|
| 3C閥(fá)門類別 | 工業 | 應用領(lǐng)域(yù) | 能源(yuán),電子/電池(chí),汽(qì)車(chē)及(jí)零(líng)部件,電氣,綜合(hé) |
瑞(ruì)士VAT閥(fá)04.2 高真(zhēn)空(kōng)傳(chuán)輸閥(fá)與L-VAT
瑞士VAT閥(fá)04.2 高(gāo)真(zhēn)空傳(chuán)輸閥(fá)與L-VAT
為大(dà)程度(dù)地(dì)減少粒子的產生和(hé)生(shēng)成，閥板配備了硫(liú)化(huà)密(mì)封件。盡管標準(zhǔn) O 型(xíng)密封圈可(kě)作為一(yī)種選擇(zé)，但(dàn)這是一種(zhǒng)比(bǐ)標(biāo)準 O 型密(mì)封圈更(gēng)可靠，更(gēng)耐(nài)用的密(mì)封(fēng)解決方(fāng)案。軸饋通件由高度(dù)耐(nài)用的金屬焊接波紋管(guǎn)密封。
斷(duàn)電時，04.2 係列可通過選配(pèi)的止回閥氣動鎖定在關閉(bì)和(hé)打(dǎ)開(kāi)位置。
04.2 高(gāo)真(zhēn)空(kōng)傳(chuán)輸閥(fá)與(yǔ)L-VAT設(shè)計(jì)用於延長免維(wéi)護運行（在維護前開(kāi)關(guān)次數 ≤ 300 萬）。
04.2 係(xì)列(liè)已經安(ān)裝(zhuāng)在(zài)數百(bǎi)個各(gè)種半導體生(shēng)產(chǎn)流(liú)程的(dí)要求(qiú)苛(kē)刻(kè)的應(yīng)用中，證(zhèng)明了其的可靠(kào)性。04.2 係列具有(yǒu)堅固的(dí)設計(jì)，減(jiǎn)少了(liǎo)維護量(liáng)，使維護更(gēng)方(fāng)便，在各(gè)個(gè)方(fāng)麵都令人信(xìn)服。
04.2 高真空傳輸(shū)閥(fá)與(yǔ)L-VAT始終(zhōng)根據客戶(hù)規格(gé)要求量身定製(zhì)。盡(jìn)管如此，四個(gè)基(jī)礎(chǔ)設計(jì)類(lèi)型已預定義：兩種(zhǒng)具有不同(tóng)的(dí)後側開(kāi)口的閥門類型(xíng)和(hé)兩(liǎng)種(zhǒng)帶有內腔或(huò)外腔閥座(zuò)的嵌(qiàn)入(rù)型閥門(mén)類(lèi)型。
閥體材料(liào)選擇(zé)有硬(yìng)質(zhì)陽(yáng)極氧(yǎng)化鋁(lǚ)或鍍(dù)鎳鋁。閥板和(hé)閥蓋密封件采用(yòng)氟橡(xiàng)膠(jiāo)或全(quán)氟橡(xiàng)膠材(cái)料(liào)。可(kě)根據要求(qiú)使用其他(tā)密封材(cái)料。
特點(diǎn)：
可(kě)在(zài)腐蝕性(xìng)工藝條件下實(shí)現可靠運(yùn)行(háng)
平(píng)滑(huá)且(qiě)低衝擊(jī)的(dí)運(yùn)動
采用避(bì)免粒(lì)子生(shēng)成(chéng)和產生的(dí) L-VAT 技(jì)術(shù)
波紋管密(mì)封軸饋(kuì)通件(jiàn)
免(miǎn)維護周(zhōu)期(qī)延長
優勢：
正(zhèng)常運行(háng)時間長(cháng)/性能不(bù)受(shòu)限(xiàn)
運行快速
運(yùn)行(háng)成(chéng)本(běn)低
瑞(ruì)士VAT閥04.2 高真空(kōng)傳輸閥與L-VAT
| 尺(chǐ)寸 | 46 x 236 mm 至(zhì) 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23") | ||
|---|---|---|---|
| 驅(qū)動器 | 氣動 | 雙(shuāng)作(zuò)用(yòng)，帶位(wèi)置(zhì)指示(shì)器(qì) | |
| 閥(fá)體(tǐ)材(cái)料(liào) | 鋁 | ||
| 饋(kuì)通件 | 波紋(wén)管(guǎn) | ||
| 泄(xiè)漏(lòu)率(shuài) | 閥體(tǐ) | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 閥座(zuò) | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 壓力(lì)範(fàn)圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar（絕(jué)對壓(yā)強） | ||
| 壓(yā)差(chà) | 閥板上 | ≤ 1.2 bar | |
| 打開(kāi)時 | ≤ 30 mbar | ||
| 首維護(hù)前開關次數 | ≥ 300萬(wàn)次(cì) | ||
| 溫(wēn)度 | 閥(fá)體 | ≤ 50℃ 至(zhì) ≤ 120℃ | |
| 閥(fá)板 | ≤ 50℃ 至(zhì) ≤ 120℃ | ||
| 加熱和冷卻(què)速(sù)率(shuài) | ≤ 40 °C h-1 | ||
| 閥(fá)座/閥板(bǎn)溫差(chà) | < 40 °C | ||
| 材料 | 閥(fá)體，閥(fá)板(bǎn)，檢(jiǎn)修(xiū)蓋(gài) | EN AW-6082 (3.2315), EN AW-6061 (3.3211) | |
| 軸，波(bō)紋(wén)管端(duān)件(jiàn) | AISI 316L (1.4435) | ||
| 波紋管(guǎn) | AISI 633 (AM 350) | ||
| 密封 | 閥蓋 | 氟橡膠(jiāo) | |
| 閥板(bǎn) | 氟(fú)橡(xiàng)膠 | ||
| 安(ān)裝位置 | 驅動(dòng)器可(kě)向(xiàng)下(xià)安(ān)裝(zhuāng) | ||
| 脈衝電(diàn)磁閥(fá) | 24 VDC，2.5 W（可根據要求提供其(qí)他值） | ||
| 位置指示(shì)器：觸點額(é)定值 | 電壓 | ≤ 50 VDC | |
| 電流 | ≤ 250 mA | ||
| 電源 | ≤ 10 W | ||
| 連(lián)接 | 9 針 D 形(xíng)超小(xiǎo)型連接器 | ||
| 壓縮空(kōng)氣(qì)連接 | 未配備(bèi)電磁(cí)閥(fá) | 內部螺紋 ⅛“ ISO/NPT | |
| 配備電磁(cí)閥 | 內部螺紋 M5 | ||
企業(yè)信息
ENTERPRISE INFORMATION上海(hǎi)茂碩機械設備有限(xiàn)公(gōng)司
459323129發送(sòng)信(xìn)件(jiàn)產(chǎn)品(pǐn)分(fēn)類
CLASSIFICATION相(xiāng)關(guān)文章(zhāng)
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